phún xạ magnetron phản ứng là một kỹ thuật thuần thục để lắng đọng một lớp hợp chất mỏng trên một gam rộng của chất nềnnhư một lớp trên cùng hoặc như một lớp trung gian trong một lớp phủ nhiều lớp. Phạm vi "mỏng" nằm trong khoảng từ vài nanomet đến vài micromét.
Tại sao nam châm lại phát ra tiếng kêu?
phún xạ Magnetron là quá trình va chạm giữa các hạt tới và mục tiêu … phún xạ Magnetron làm tăng mật độ plasma bằng cách tạo ra một từ trường trên bề mặt của catốt mục tiêu và sử dụng các hạn chế của từ trường trên các hạt mang điện để tăng tốc độ phún xạ.
Nghĩa là gì của phún xạ phản ứng?
phún xạ phản ứng là một quá trình cho phép các hợp chất được lắng đọng bằng cách đưa một khí phản ứng (thường là oxy hoặc nitơ) vào plasmathường được hình thành bởi một khí trơ chẳng hạn như argon (phổ biến nhất), xenon hoặc krypton.
Mút phun nam châm hoạt động như thế nào?
Magnetron phún xạ là một công nghệ lắng đọng liên quan đến plasma dạng khí được tạo ra và giới hạn trong một không gian chứa vật liệu cần lắng đọng - 'mục tiêu'. … Những va chạm này gây ra lực đẩy tĩnh điệnlàm 'đánh bật' các electron khỏi các nguyên tử khí phún xạ, gây ra sự ion hóa.
Tại sao RF lại phát ra tiếng ồn?
RF hoặc phún xạ tần số vô tuyến là kỹ thuật liên quan đến việc xoay chiều tiềm năng điện của dòng điện trong môi trường chân không ở tần số vô tuyến để tránh tích tụ điện tích trên một số loại vật liệu đích phún xạ, theo thời gian có thể dẫn đến phóng hồ quang vào plasma phun ra các giọt…
